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靶材真空噴涂生產(chǎn)線的技術(shù)核心及優(yōu)勢
2023-11-28

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我公司專注于高溫難熔融材料的真空噴涂技術(shù),打破技術(shù)壁壘和難題,自主研發(fā)出具有世界先進(jìn)水平的靶材真空噴涂生產(chǎn)線,我公司生產(chǎn)的靶材,經(jīng)國家有色金屬及電子材料分析測試中心檢測,各項指標(biāo)均達(dá)到和超過世界高端靶材的水平;經(jīng)國內(nèi)多家知名鍍膜企業(yè)使用,反應(yīng)良好。我公司靶材真空噴涂生產(chǎn)線和靶材產(chǎn)品具有如下技術(shù)核心與創(chuàng)新點:

一、技術(shù)核心:

1、 我公司采用了自主研發(fā)的超高溫、大功率等離子噴涂槍,更為有效的融熔了高溫難熔金屬、陶瓷粉末材料,焰流速更快,使靶材的晶界結(jié)合更致密、晶粒更細(xì) 、孔隙更少、密度更高。

2、 靶材制備過程始終處于“真空”環(huán)境,區(qū)別于國內(nèi)所有靶材的大氣噴涂制備過程的常規(guī)技術(shù),杜絕了氣相雜質(zhì)的產(chǎn)生,使靶材的成分、純度得到有效保證。

3、 在靶材熱噴涂制備過程中,等離子槍焰流中科學(xué)配注了還原氣體,使材料在熱熔、冷卻過程中具備充分的還原性,保證材料的物化性質(zhì)不發(fā)生改變。

4、 采用密閉循環(huán)水冷卻控制系統(tǒng),使靶材在熱噴涂過程中,有效控制了靶材的溫度,噴涂完成后按設(shè)定要求梯度降溫,釋放了靶材的材質(zhì)內(nèi)部應(yīng)力,消除了客戶在濺射制程中的靶材開裂隱患。

二、創(chuàng)新點

1、 靶材密度更高、晶粒更細(xì)、分布更混勻、內(nèi)部孔隙率更少,用戶使用過程中消耗均勻、使用壽命同比延長、鍍膜膜層更加致密。

2、 靶材純度更純,氧、氮含量更低,保證了靶材材質(zhì)的純正性,使用戶的濺射氣氛更加可控,確保了膜層的高品質(zhì)。

3、 靶材材料內(nèi)部內(nèi)應(yīng)力更小,杜絕了客戶在使用升溫過程中,靶材的開裂、掉渣、污染濺射真空腔的現(xiàn)象。

4、 導(dǎo)電率更均勻、更平穩(wěn),使客戶在濺射鍍膜過程中,靶材放電過程更加充分,保證了設(shè)備電流、電壓的穩(wěn)定,杜絕了靶材中毒事故,鍍膜膜層更加均勻致密。


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